Каталог средств контроля вакуума Преимущества Области применения Предел показаний от 100 миллиторр до 1000 торр Точное и быстрое измерение давления для требовательных приложений: Быстрое установление стабильного состояния после подачи питания Оборудование для производства полупроводников, в котором используются следующие техпроцессы:
травление, химическое осаждение из газовой фазы, осаждение из паровой фазы, атомно-слоевое осаждение Быстрое восстановление после прорыва атмосферного воздуха Коррозионностойкий керамический датчик Превосходная долговременная стабильность сигнала Оборудование для производства устройств хранения данных и экранов Компенсация температурных воздействий Двойная защита датчика от загрязнения Промышленное вакуумное оборудование Высокоточное измерение давления Установка нуля нажатием одной кнопки Широкий диапазон источников питания 2 уставки Интерфейс RS232 Пригоден для эксплуатации в чистом помещении Внесены в реестр средств измерения РФ Информация для заказа Предел показаний (F.S.) 0 Стандартное исполнение 0.1 3 b Контроль давления 1) 0.
25 4 0. 5 5 1 6 2 7 5 8 1 DN 16 ISO-KF Фланец 20 a 10 9 3 DN 16 CF-R 50 b 9 Патрубок нар. диам. 1/2" 100 c e 8 VCR с внутренней резьбой 200 d 500 e торр 1000 f мбар 1100 g 5 торр Единица измерения 6 мбар 1) Оптимальная настройка фильтра сигналов для контроля давления жирным шрифтом выделены варианты стандартного исполнения устройства По запросу возможно изготовление с фланцем другого типа и другим измерительным диапазоном (F.S. ) 10 Офис в Москве: тел./факс: +7 (495) 660-88-97 | тел.: +7 (495) 722-12-90, +7 (495) 543-60-25 | e-mail: info@msht.ru | web: www.msht.ru 3 c b 1 6 5 1 2 3 0 0