ТЕРМИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ Газовая система Дублированные линии напуска водорода и азота Цифровые модуляторы расхода газа на каждой линии Датчик кислорода в рабочей камере Дублированная система дожигания водорода с контролем горения 9 Система управления ▪ Управление нагревом печи ▪ Измерение и регистрация параметров технологического процесса ▪ Автоматическая установка расхода Проектирование и производство вакуумного оборудования рабочих газов