Термовакуумный блок ▪ Камера обезгаживания ▪ Вакуумный коллектор ▪ Система вакуумной откачки ▪ Система контроля давления ▪ Система нагрева и температурного регулиров ▪ Встроенный модульный масс-спектрометриче течеискатель Газовый блок Система управления ▪ Система наполнения изделий рабочим ▪ Управление откачкой изделия газом: напуск газа в камеру и напуск ▪ Управление откачкой колпака газа в обрабатываемое изделие 21 Проектирование и производство вакуумного оборудования