турбомолекулярные насосы серии EMT Серия EMT Семейство насосов EBARA серии EMT состоит из 4 раз- личных турбомолекулярных насосов с магнитным под- весом: терморегулируемого и коррозионностойкого насосов, с низким уровнем вибраций и для сверхвысо- кого вакуума. Турбомолекулярные насосы серии ЕМТ характеризуются широким диапазоном давления.
Турбомолекулярный насос с низким уровнем вибраций удовлетворяет требованиям самых передовых техноло- гий в области фотолитографии, в глубоком ультрафио- лете (EUV), микроэлектромеханических систем (MEMS), измерения ширины линии CD, сканирующей и просвечи- вающей электронной микроскопии, рентгеновской фото- электронной спектроскопии и аналитических приборов на основе нанотехнологии. Модель с низким уровнем вибраций создают вибрацию амплитудой менее 1 нм. Турбомолекулярный насос для сверхвысокого вакуума предназначен для эффективной откачки лёгких газов в диапазоне высокого и сверхвысокого вакуума за счёт уменьшения интенсивности газовыделения и повыше- ния степени сжатия водорода.
После непродолжитель- ного прогрева турбомолекулярный насос для сверхвы- сокого вакуума способен обеспечить давление 10 -8 Па. Терморегулируемый турбомолекулярный насос пред- назначен для уменьшения скорости конденсации со- путствующих продуктов и скопления отходов техноло- гического процесса внутри турбомолекулярного насоса. Запатентованная структура термоизоляции со встроен- ной системой регулирования температуры делают эту модель наиболее энергоэффективной из терморегу- лируемых турбомолекулярных насосов, имеющихся на рынке в настоящее время.
Особенности и преимущества Области применения Полупроводниковая Установка в любом положении Быстрый выход насоса на рабочий режим и остановка Модель без соединительных узлов Высокая быстрота действия Автоматическая калибровка Дистанционное управление и мониторинг Травление Плазмохимическое осаждение из паровой фазы Осаждение из паровой фазы Загрузочные шлюзы НИОКР Фотогальваническая Воздушное или водяное охлаждение Коррозионностойкое исполнение Насос с контролируемым прогревом Модель для сверхвысокого вакуума Продувка азотом Ремкомплект (клапаны и др.) Запорные клапаны Модель с низким уровнем вибраций Радиационно-стойкое исполнение Дополнительные опции Тонкоплёночные покрытия Загрузочные шлюзы TCO Неполупроводниковая Осаждение из паровой фазы Распыление Сканирующая электронная микроскопия Аналитическое оборудование Описание моделей Тел./факс:
+7 (495) 660-88-97 | тел.: +7 (495) 722-12-90, +7 (495) 543-60-25 | e-mail: info@msht.ru | web: www.msht.ru 14 1 2 3 4 5 6 7 ЕМТ 900 M I B A B 1 Модель ЕМТ Магнитный подвес 2 Размер Быстрота действия по азоту (воздуху) 390 420 900 1300 2400 3260 3 Подшипниковый узел М Магнитный подвес Специальная конструкция Обычный I Теплоизоляция L Низкий уровень вибраций R Радиационно-стойкий U Для сверхвысокого вакуума 4 K Встроенный контроллер C CF (Conflat) 5 Впускной фланец B ISO-B (болт) A Воздушное охлаждение 6 Система охлаждения W Водяное охлаждение B Стандартный 7 Тип спецификации C Коррозионностойкий