EBARA — EBARA Турбомолекулярные насосы — каталог

Модель EMT900M турбомолекулярные насосы серии EMT Воздушное охлаждение Водяное охлаждение Вход/выход для охлаждающей воды Вентилятор для воздушного охлаждения Вход для продувочного газа Вход для продувочного газа Эл. соединитель Эл.

соединитель Размеры в мм Быстрота действия по азоту (воздуху) Быстрота действия по водороду Быстрота действия (л/с) Быстрота действия (л/с) Давление (Па) Давление (Па) Технические характеристики Контроллеры ЕМТ900М 900 1х10 8 1050 1,5х10 4 -7 -6 >250 >15 4,0-5,0 42,0 34,0 Каталог турбомолекулярных насосов 17 Модель Быстрота действия (л/с) N 2 H 2 Степень сжатия N 2 H 2 Предельное остаточное давление Фланец CF Па Фланец ISO-B Па Рекомендуемый форвакуумный насос л/мин. м3/ч Время выхода в рабочий режим мин.

Масса Фланец CF кг Фланец ISO-B кг Модель ETC011M Входное напряжение В, ~ ток 200-240 (±10%) Частота тока питающей сети Гц 50/60 Число фаз питающей сети 1 Потребляемая мощность ВА 1300 Номинальная выходная частота Гц 680/560/520 Масса кг 9 Стандартные принадлежности Кабел эл. соед ь питания (5, 10, 15, 25 м), инитель для дистанционного мониторинга Модель насоса EMT900M