Введение К омпания EBARA Corp. – это мировой лидер по производ- ству высокотехнологичного оборудования для различных областей науки и техники. Корпорация была основана в 1912 г. и на сегодняшний день имеет а своем составе не- сколько подразделений. Precision Machinery Company – подразделение, занима- ющееся производством турбомолекулярных насосов, сухих вакуумных насосов, оборудованием для полупро- водниковой промышленности, систем озонирования и очистки для чистых помещений. Fluid Machinery & Systems Company – подразделение, занимающееся производством насосов для химической промышленности и систем на их основе.
Environmental Engineering Company – подразделение, за- нимающееся научно-исследовательскими и опытно-кон- структорскими работами. Компания EBARA - мировой лидер по производству турбо- молекулярных насосов, сухих вакуумных насосов большой производительности и высокотехнологичных систем для полупроводниковой промышленности и фотовольтаики. Корпорация EBARA является членом Международной ор- ганизации полупроводникового оборудования и материа- лов, Американского вакуумного общества, Американской ассоциации изготовителей вакуумного оборудования.
Весь ассортимент продуктов EBARA разрабатывается и произво- дится в полном соответствии со стандартными требовани- ями ANSI, ISO, Американского общества контроля качества (ASQC), системы качества Японии и США.
Традиционная область применения насосов - исследования в области ядерной физики, ускорители, имитация космического про- странства, электронная промышленность Оборудование EBARA в техническом плане на шаг опере- жает продукцию практически любого мирового произво- дителя за счет огромного опыта в области производства гибридных турбомолекулярных насосов и постоянно про- должающихся исследований по оптимизации конструкции и поиску новых более эффективных решений в области вы- соковакуумной откачки.
Турбомолекулярные насосы EBARA - бескомпромиссное решение, вобравшее в себя результаты многолетних постоянно продолжающихся исследований, опыт и знания инженеров компании в области надежности, долговечности и отказоустойчивости. Не имеющая себе равных локальная и глобальная сеть центров поддержки клиентов и технологического обслу- живания обеспечивает высочайший стандарт сервиса и максимальное время безотказной работы при низких экс- плуатационных издержках.
Использование самого современного производственного оборудования, инновационных технологий и качественных материалов позволяет компанииЕbаrа Precision Machinery Company выпускать оборудование, полностью соответству- ющее требованиям современного производства и динамич- но развивающегося рынка. Компания ООО «ЭмЭсЭйч Техно» является эксклюзивным представителем компании Ebara на территории России. СОДЕРЖАНИЕ 1. Турбомолекулярные сухие гибридные насосы с металлокерамическими подшипниками серии ЕВТ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 1.1. Модель EBT70F и EBT70F-20. . . . . . . . . . . . . 4 1.2. Модель EBT220F . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 1.3.
Модель EBT240F и EBT240F-20. . . . . . . . . . 6 1.4. Модель EBT350F . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 1.5. Модель EBT450F . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 1.6. Модель EBT800F . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 1.7. Модель EBT1100F. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10 1.8. Модель EBT1400F. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 1.9. Модель EBT2400F и EBT2400F-40. . . . . . 12 1.10. Блок питания и контроллер турбомолекулярного насоса. . . . . . . . . . 13 2. Турбомолекулярные гибридные насосы с магнитным подвесом ротора серии ЕМТ. . . . . 14 2.1. Модель EMT390M. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15 2.2. Модель EMT420M. . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . 16 2.3. Модель EMT900M. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17 2.4. Модель EMT1300M. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18 2.5. Модель EMT2400M. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19 2.6 Модель EMT2200MK и EMT3300MK. . . . . . 20 Тел./факс: +7 (495) 660-88-97 Тел.: +7 (495) 722-12-90, +7 (495) 543-60-25 e-mail: info@msht.ru web: www.msht.ru 2.6. Контроллер для турбомолекулярного насоса серии ЕМТ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .22