Каталог средств контроля вакуума Преимущества Области применения Более низкая стоимость владения, нагрев в 2 раза быстрее, низкая потребляемая мощность Техпроцессы производства полупроводников:
травление, химическое осаждение из газовой фазы, осаждение из паровой фазы Легкая интеграция, широкий выбор предела показаний, фланцев и интерфейсов, в стандартном исполнении предусмотрена возможность задания 2 уставок Химические и коррозионные техпроцессы в вакууме Лёгкая установка нуля нажатием одной кнопки или удалённой командой, настраиваемое смещение нуля Установки для осаждения тонких плёнок и вакуумные техпроцессы Эталонный датчик для мониторинга контрольно- измерительных приборов в соответствии с международными стандартами Электрический соединитель для диагностики и быстрого техобслуживания Гарантия 2 года, более продолжительный срок службы, благодаря усовершенствованной концепции нагрева и защите вакуумметра Эталон сравнения для единообразия измерений Нет необходимости в повторной калибровке в долгосрочной перспективе, благодаря превосходной стабильности сигнала и повторяемости показаний даже в жёстких условиях приложений с плазменным процессом Соответствие требованиям и стандартам:
CE, EN, UL, SEMI, RoHS Внесены в реестр средств измерения РФ Информация для заказа Предел показаний (F.S.) 0.1 3 0 Стандартное исполнение 0. 25 4 b Контроль давления 1) 0. 5 5 1 6 2 7 Интерфейс промышленной сети 5 8 Фланец 20 a 10 9 1 DN 16 ISO-KF 0 Нет 1 DeviceNet 50 b 3 DN 16 CF-R 9 Патрубок нар. диам. 1/2" 2 Profibus 200 d 100 c 500 e e 8 VCR с внутренней резьбой торр 1000 f мбар 1100 g 5 торр Единица измерения 6 мбар 1) Оптимальная настройка фильтра сигналов для контроля давления жирным шрифтом выделены варианты стандартного исполнения устройства По запросу возможно изготовление с фланцем другого типа и другим измерительным диапазоном (F.S.
) Принадлежности ПО для реализации функций диагностики, устанавливаемое на ПК под управлением ОС Windows NT, XP, можно скачать с веб-сайта нашей компании Офис в Москве: тел./факс: +7 (495) 660-88-97 | тел.: +7 (495) 722-12-90, +7 (495) 543-60-25 | e-mail: info@msht.ru | web: www.msht.ru 13 3 c c 1 6 5 1 2 3 0 0 Диагностика Адаптер связи (2 м) для последовательного интерфейса (RS232) ПК 303-333