Каталог средств контроля вакуума Преимущества Области применения Предел показаний от 100 миллиторр до 1000 торр Оборудование для производства полупроводников, в котором используются следующие техпроцессы:
травление, химическое осаждение из газовой фазы, осаждение из паровой фазы, атомно-слоевое осаждение Быстрое установление стабильного состояния после подачи питания Быстрое восстановление после прорыва атмосферного воздуха Коррозионностойкий керамический датчик Оборудование для производства устройств хранения данных и экранов Превосходная долговременная стабильность сигнала Промышленное вакуумное оборудование Компенсация температурных воздействий Высокоточное измерение давления Датчик защищён от загрязнения Установка нуля нажатием одной кнопки Широкий диапазон источников питания 2 уставки (по заказу) Интерфейс RS232 (по заказу) Внесены в реестр средств измерения РФ Информация для заказа CDG025D, компенсация температурных воздействий Предел показаний Тип фланца торр Па мбар патрубок 1/2” DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR ® CDG025D, 2 уставки, интерфейс RS232, компенсация температурных воздействий Предел показаний Тип фланца торр Па мбар патрубок 1/2” DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR ® жирным шрифтом выделены варианты стандартного исполнения устройства По запросу возможно изготовление с фланцем другого типа и другим измерительным диапазоном Офис в Москве:
тел./факс: +7 (495) 660-88-97 | тел.: +7 (495) 722-12-90, +7 (495) 543-60-25 | e-mail: info@msht.ru | web:
www.msht.ru 7 1000 133,322 1333 375-000 375-001 375-002 375-003 100 13,332 133 376-000 376-001 376-002 376-003 10 1,333 13.3 377-000 377-001 377-002 377-003 1 133 1.3 378-000 378-001 378-002 378-003 0.1 13,3 0.13 379-000 379-001 379-002 379-003 1000 133,322 1333 375-300 375-301 375-302 375-303 — 110,000 1,100 375-500 375-501 375-502 375-503 200 26,664 267 382-300 382-301 382-302 382-303 100 13,332 133 376-300 376-301 376-302 376-303 — 10,000 100 376-500 376-501 376-502 376-503 20 2,666 26.7 383-300 383-301 383-302 383-303 10 1,333 13.3 377-300 377-301 377-302 377-303 — 1,000 10 377-500 377-501 377-502 377-503 1 133 1.3 378-300 378-301 378-302 378-303 — 100 1 378-500 378-501 378-502 378-503 0.25 33.3 0.33 385-300 385-301 385-302 385-303 0.1 13.3 0.13 379-300 379-301 379-302 379-303 — 10 0.1 379-500 379-501 379-502 379-503