ТЕРМИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ Система управления ▪ Управление нагревом печи ▪ Измерение и регистрация параметров технологического процесса ▪ Управление вакуумными агрегатами откачных систем установки Высоковакуумная откачная Газовая система система ▪ Линия напуска азота ▪ Диффузионный высоковакуумный ▪ Цифровой модулятор расхода газа насос ▪ Форвакуумный двухступенчатый пластинчато-роторный насос ▪ Криогенная ловушка 15 Проектирование и производство вакуумного оборудования Высоковакуумная откачная система ▪ Диффузионный высоковакуумный насос ▪ Форвакуумный двухступенчатый пластинчато-роторный насос Газовая система ▪ Линия напуска азота ▪ Цифровой модулятор расхода газа 15 о вакуумного оборудования ▪ Криогенная ловушка Пр оектирование и производств о вакуумного оборудования