Текст документа
Введение К омпания EBARA Corp. – это мировой лидер по производ- ству высокотехнологичного оборудования для различных областей науки и техники. Корпорация была основана в 1912 г. и на сегодняшний день имеет а своем составе не- сколько подразделений. Precision Machinery Company – подразделение, занима- ющееся производством турбомолекулярных насосов, сухих вакуумных насосов, оборудованием для полупро- водниковой промышленности, систем озонирования и очистки для чистых помещений. Fluid Machinery & Systems Company – подразделение, занимающееся производством насосов для химической промышленности и систем на их основе.
Environmental Engineering Company – подразделение, за- нимающееся научно-исследовательскими и опытно-кон- структорскими работами. Компания EBARA - мировой лидер по производству турбо- молекулярных насосов, сухих вакуумных насосов большой производительности и высокотехнологичных систем для полупроводниковой промышленности и фотовольтаики. Корпорация EBARA является членом Международной ор- ганизации полупроводникового оборудования и материа- лов, Американского вакуумного общества, Американской ассоциации изготовителей вакуумного оборудования.
Весь ассортимент продуктов EBARA разрабатывается и произво- дится в полном соответствии со стандартными требовани- ями ANSI, ISO, Американского общества контроля качества (ASQC), системы качества Японии и США.
Традиционная область применения насосов - исследования в области ядерной физики, ускорители, имитация космического про- странства, электронная промышленность Оборудование EBARA в техническом плане на шаг опере- жает продукцию практически любого мирового произво- дителя за счет огромного опыта в области производства гибридных турбомолекулярных насосов и постоянно про- должающихся исследований по оптимизации конструкции и поиску новых более эффективных решений в области вы- соковакуумной откачки.
Турбомолекулярные насосы EBARA - бескомпромиссное решение, вобравшее в себя результаты многолетних постоянно продолжающихся исследований, опыт и знания инженеров компании в области надежности, долговечности и отказоустойчивости. Не имеющая себе равных локальная и глобальная сеть центров поддержки клиентов и технологического обслу- живания обеспечивает высочайший стандарт сервиса и максимальное время безотказной работы при низких экс- плуатационных издержках.
Использование самого современного производственного оборудования, инновационных технологий и качественных материалов позволяет компанииЕbаrа Precision Machinery Company выпускать оборудование, полностью соответству- ющее требованиям современного производства и динамич- но развивающегося рынка. Компания ООО «ЭмЭсЭйч Техно» является эксклюзивным представителем компании Ebara на территории России. СОДЕРЖАНИЕ 1. Турбомолекулярные сухие гибридные насосы с металлокерамическими подшипниками серии ЕВТ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 1.1. Модель EBT70F и EBT70F-20. . . . . . . . . . . . . 4 1.2. Модель EBT220F . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 1.3.
Модель EBT240F и EBT240F-20. . . . . . . . . . 6 1.4. Модель EBT350F . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 1.5. Модель EBT450F . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 1.6. Модель EBT800F . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 1.7. Модель EBT1100F. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10 1.8. Модель EBT1400F. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 1.9. Модель EBT2400F и EBT2400F-40. . . . . . 12 1.10. Блок питания и контроллер турбомолекулярного насоса. . . . . . . . . . 13 2. Турбомолекулярные гибридные насосы с магнитным подвесом ротора серии ЕМТ. . . . . 14 2.1. Модель EMT390M. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15 2.2. Модель EMT420M. . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . 16 2.3. Модель EMT900M. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17 2.4. Модель EMT1300M. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18 2.5. Модель EMT2400M. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19 2.6 Модель EMT2200MK и EMT3300MK. . . . . . 20 Тел./факс: +7 (495) 660-88-97 Тел.: +7 (495) 722-12-90, +7 (495) 543-60-25 e-mail: info@msht.ru web: www.msht.ru 2.6. Контроллер для турбомолекулярного насоса серии ЕМТ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .22
Стр. 2
Серия EBT турбомолекулярные насосы серии EBT Гибридные турбомолекулярные насосы EBARA серии ЕВТ с интегрированными молекулярными ступенями и меха- ническими подшипниками гармонично дополняют имеющийся модельный ряд турбомолекулярных насосов EBARA серии ЕМТ с полностью магнитным подвесом. Насосы серии EBT – это высокоэффективное, высокорентабельное решение задач высоковакуумной откачки. Гибридные турбомолекулярные насосы EBARA серии ЕВТ имеют высоко- надежную износостойкую конструкцию с механическими подшипниками, которая обеспечивает быструю чистую и надёжную откачку для высокотехнологичных производственных процессов.
Любое положение в пространстве при монтаже Не требуется смазка или обслуживание подшипни- ков, ресурс подшипников до замены не менее 20 000 часов Расчетный ресурс работы насоса от 100 000 часов (около 50 лет при нормальном режиме эксплуатации) Встроенная система продувки подшипников в стан- дартной комплектации (для откачки конденсирую- щихся и коррозионно-активных сред) Компактная конструкция, есть модели со встроенным контроллером Защита при прорыве атмосферы и связанных с этим остановках и пусках электродвигателя Модели, способные эффективно работать при частых напусках атмосферы (для шлюзовых камер) Воздушное или водяное охлаждение Присоединительные фланцы стандарта ISO или CF Прочная подшипниковая конструкция оптимальна для мобильных приложений и передвижных откач- ных постов Особенности и преимущества Ядерная физика Ускорители, физика частиц Установки имитации космического пространства Лампы для аналитических приборов Электронно-лучевые и рентгеновские трубки Создание вакуума для источников ионов или элек- тронных пучков Сращивание п/п пластин Напыление Стеклянное или тонкоплёночное покрытие Передвижные и стационарные откачные посты Области применения Дополнительные опции Воздушное (естественное) или водяное охлаждение Комплект клапанов для продувки Продувка азотом Ремкомплект (клапаны и др.) Запорные клапаны Описание моделей Каталог турбомолекулярных насосов 3 1 2 3 4 5 ЕВТ 350 F B A B 1 Модель ЕВТ Керамический подшипник 2 Размер Быстрота действия по азоту (воздуху) 70 220 240 350 450 800 1100 1400 2400 C CF B ISO-B (болт) 3 Впускной фланец R ISO-R (хомут) A Воздушное охлаждение (вентилятор) N Естественное воздушное охлаждение (без вентилятора) 4 Система охлаждения W Водяное охлаждение B Стандартное 5 Исполнение C Коррозионностойкое
Стр. 3
турбомолекулярные насосы серии EBT Модели EBT70F и EBT70F-20 Естественное воздушное охлаждение Воздушное охлаждение Электропитание/ управление Эл. соединитель Эл. соединитель Электропитание/ управление Контроллер Контроллер Вентиляционное отверстие Вентиляционное отверстие для продувочного газа Вход для продувочного газа Вход для продувочного газа Вход для продувочного газа Размеры в мм Быстрота действия по азоту (воздуху) Быстрота действия по водороду Быстрота действия (л/с) Быстрота действия (л/с) Давление (Па) Давление (Па) Технические характеристики Контроллеры Стандартный комплект поставки: насос, контроллер. Дополнительные принадлежности:
вентилятор для воздушного охлаждения, контроллер для монтажа в стойку, кабель для электродвигателя (EBT70F-20), комплект клапанов для продувки, входной фитинг для подачи продувоч- ного газа в комплекте, прецизионный игольчатый клапан, фланцы и фитинги. Тел./факс: +7 (495) 660-88-97 | тел.: +7 (495) 722-12-90, +7 (495) 543-60-25 | e-mail: info@msht.ru | web: www.msht.ru 4 Вход Модель EB T70 / EBT70F-20 Быстрота действия (л/с) N 2 70 H 2 45 Степень сжатия N 2 1х108 H 2 1х105 Предельное остаточное давление Фланец CF Фланец ISO-К Па Па Рекомендуемый форвакуумный насос л/мин. >25 м3/ч >1,5 Время выхода в рабочий режим мин.
2,0-2,5 Тип охлаждения (вентиля Воздушное тор или естественное) Масса Фланец CF Фланец ISO-К кг 5,0 кг 3,0 Модель ETC75 ETC76 Тип встроенный для монтажа в стойку Входное напряжение 24 В пост. ток 100-230 В перем. ток, (±10%) Частота тока питающей сети Гц 50/60 ±2 % Число фаз питающей сети – 1 Потребляемая мощность 120 Вт 160 ВА Масса кг – 2,4 Модель насоса EBT70F EBT70F-20
Стр. 4
Модель EBT220F турбомолекулярные насосы серии EBT Естественное воздушное охлаждение Воздушное охлаждение Вентиляционное отверстие Эл. соединитель Вход для продувочного газа Вентиляционное отверстие Эл. соединитель Вход для продувочного газа Вентилятор для воздушного охлаждения Вход для охлаждающей воды Размеры в мм Быстрота действия по азоту (воздуху) Быстрота действия по водороду Быстрота действия (л/с) Быстрота действия (л/с) Давление (Па) Давление (Па) Технические характеристики Контроллеры Модель Входное напряжение Частота тока питающей сети Число фаз питающей сети Потребляемая мощность Масса Модель насоса Стандартный комплект поставки:
насос, источник питания, кабель для электродвигателя (3 м), кабель для венти- лятора (3 м, только для модели с воздушным охлаждением). Дополнительные принадлежности: нагреватель для обезгаживания, комплект клапана для продувки, входной фитинг для подачи продувочного газа в комплекте, прецизионный игольчатый клапан, фланцы и фитинги. Каталог турбомолекулярных насосов 5 Модель EBT220F Быстрота действия (л/с) N 2 220 H 2 100 Степень сжатия N 2 1х108 H 2 4х102 Предельное остаточное давление Фланец CF Па Фланец ISO-К Па Рекомендуемый форвакуумный насос л/мин. >80 м3/ч >4,8 Время выхода в рабочий режим мин.
1,0-1,2 Тип охлаждения В оздушное (вентилятор) или водяно Масса Фланец CF кг 8,0 Фланец ISO-К кг 5,8 ETC223 100-110/200-230 В перем. ток, (±10%) Гц 50/60 ±2 % 1 ВА 590 кг 2,7 EBT220F
Стр. 5