Cryofox Explorer 600 LT Хранилище Криогенного Ледяного Хранения Руководство Пользователя PDF

СгуоюЮх Ехр!огег 600 (Т идеально подходит для «ИЕ ОН» технологии. В процессах «ИЕ ОЁ» технологии важно очень равномерное осаждение материала. Благодаря большому расстоянию между подложкой и источником в Ехр!огег 600 [Т обеспечивается высокая равномерность осаждаемого слоя. Ехр!огег 600 (Т -— это очень универсальная уста- новка, специально разработанная для производства и исследований. Установка основана лучевого испарения. на технологии электронно- Благодаря компактным размерам установка легко транспортируется и ее можно разместить в условиях действующихлабораторий и производств. Требуется дверной проем шириной всего 850 мм и высотой 1900 мм.

Все установки Сгуоох разработаны с учетом возможности установки в чистых комнатах. Все установки Сгуо?ох рассчитываются, проектируются и производятся на заводе Роу{екииК А$ (Дания). СВУОГОХ ЕХРЕОВЕВ 600 [7 КОМПАКТНАЯ ВЫСОКОВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК роге о

Page 1

Расстояние между источником и подложкодержате- лем около 750 мм ш Охлаждение/ нагрев подложки (опционально) ш Камера из высококачественной нержавеющей (электрохимическая полировка опционально) Максимальный размер подложки стали м Вакуумный блок:

1047 х816х 1848 мм м 200 мм ПРОЦЕСС Один или несколько резистивных испарителей (опционально) ш ОБЕСПЕЧЕНИЕ ПРОЦЕССА и Пластинчато-роторный НЫЙ Насо6 или спиральный форвакуум- ш Турбомолекулярный или криогенный высоковакуум- и ныи насос Один или несколько цифровых и Водяное охлаждение 2 автоматический процесса для контроль техно- идеального резуль- Полностью автоматическое управление системой ш Очень удобная операторская панель с продуманным меню и Возможность полного удаленно управления через |пцегпе* (опция) и —ш Система протоколирования (опция) Кварцевый измеритель толщины пленки, интегрированный в систему управления уста- или ручное новкой регуляторов потока Квадрупольный масс-спектрометр (опция) ДОПОЛНИТЕЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ш [Иа >) Полностью логического и ш газов 569 тата Плазменная очистка (травление) в шлюзовой камере Ионное ассистирование (опционально) 8 Блокуправления:

1044 х624х 1848 мм ое Электронно-лучевой источник (одно- или многотиглевый) —_ Габаритные размеры Чиллер (опционально) 1344252] Г 1 я 816 624 РОУТЕКМК НОЧ$Е ОР СОАТИМС ТЕСНМОГОСУ РОУТЕКМКА$ | Мое!ераде 21 | ОК-9750 Оез{егугаа РПопе: +45 9689 2800 | Еах: +45 9689 2801 | Е-тай: за!е@роу\екпК.ак М-Н Теспто Эксклюзивный представитель в России ООО ЭмЭсЭйч Техно тел./факс +7 (495) 722-12-90, +7 (495) 543-60-25 | е-тай: пю@тзНЕги | ммм. т НЕ.ги

Page 2