Каталог средств контроля вакуума Преимущества Области применения Более низкая стоимость владения, нагрев в 2 раза быстрее, низкая потребляемая мощность Техпроцессы производства полупроводников: травление, химическое осаждение из газовой фазы, осаждение из паровой фазы и др.
Легкая интеграция, широкий выбор предела показаний, фланцев и интерфейсов, в стандартном исполнении предусмотрена возможность задания 2 уставок Химические и коррозионные высокотемпературные техпроцессы Лёгкая установка нуля нажатием одной кнопки или удалённой командой, настраиваемое смещение нуля Установки для осаждения тонких плёнок и вакуумные техпроцессы, требующие контроля вакуума Электрический соединитель для диагностики и быстрого техобслуживания Гарантия 2 года, более продолжительный срок службы, благодаря усовершенствованной концепции нагрева и защите вакуумметра Нет необходимости в повторной калибровке в долгосрочной перспективе, благодаря превосходной стабильности сигнала и повторяемости показаний даже в жёстких условиях приложений с плазменным процессом Соответствие требованиям и стандартам:
CE, EN, UL, SEMI, RoHS Внесены в реестр средств измерения РФ Информация для заказа 0 Стандартное исполнение Предел показаний (F.S.) b Контроль давления 1) 0.1 3 0. 25 4 Интерфейс промышленной сети 0. 5 5 1 6 0 Нет 2 7 Фланец 1 DeviceNet 5 8 1 DN 16 ISO-KF 3 DN 16 CF-R 2 Profibus 20 a 10 9 9 Патрубок нар. диам. 1/2" 50 b e 8 VCR с внутренней резьбой 100 c 200 d 500 e Единица измерения торр 1000 f 5 торр 6 мбар мбар 1100 g 1) Оптимальная настройка фильтра сигналов для контроля давления жирным шрифтом выделены варианты стандартного исполнения устройства По запросу возможно изготовление с фланцем другого типа и другим измерительным диапазоном (F.S.
) Принадлежности ПО для реализации функций диагностики, устанавливаемое на ПК под управлением ОС Windows NT, XP, можно скачать с веб-сайта нашей компании Офис в Москве: тел./факс: +7 (495) 660-88-97 | тел.: +7 (495) 722-12-90, +7 (495) 543-60-25 | e-mail: info@msht.ru | web: www.msht.ru 17 3 c d 1 6 5 1 2 3 0 0 Диагностика Адаптер связи (2 м) для последовательного интерфейса (RS232) ПК 303-333