ТЕРМИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ Камерная печь с системой напуска газа ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ Производство подложек полупроводниковой техники, отжиг образцов в атмосфере инертного газа, спекания керамики. Электропечь автоматизированная с напуском газа предназначена для создания многослойных структур на поверхности обрабатываемых деталей. НАЗНАЧЕНИЕ В данной установке осуществляется:
Создание и поддержание защитной атмосферы в рабочем пространстве печи Нагрев до требуемой температуры Заполнение печи различными газами по требуемой программе ПРЕИМУЩЕСТВА Компактное исполнение для исследовательских лабораторий Полная автоматизация технологического процесса Возможность быстрой перенастройки программы *Данные приведены для стандартной модели, характеристики могут быть изменены под требования заказчика Тел./факс: +7 (495) 660-88-97 | тел.: +7 (495) 722-12-90, +7 (495) 543-60-25 | e-mail: info@msht.ru | web:
www.msht.ru 16 Технические характеристики* Значение Тип печи Камерная Внутренние габариты рабочего пространства (ДхШхВ) 310×310×300 мм Количество зон нагрева 1 Максимальная температура 1300 °С Температурный градиент ±5 К Точность поддержания температуры ±3 К Регулируемая скорость нагрева 1–20 К/мин Максимальная масса садки 25 кг