EBARA — EBARA Турбомолекулярные насосы — каталог

Модель EMT390M турбомолекулярные насосы серии EMT Воздушное охлаждение Водяное охлаждение Вход для продувочного газа Вентилятор для воздушного охлаждения Эл. соединитель Размеры в мм Быстрота действия по азоту (воздуху) Быстрота действия по водороду Быстрота действия (л/с) Быстрота действия (л/с) Давление (Па) Давление (Па) Технические характеристики Контроллеры Модель Входное напряжение Частота тока питающей сети Число фаз питающей сети Потребляемая мощность Номинальная выходная частота Масса Стандартные принадлежности Модель насоса Каталог турбомолекулярных насосов 15 Вход для продувочного газа Вход/выход для охлаждающей воды Эл.

соеди Модель ЕМТ390М Быстрота действия (л/с) N 2 340 H 2 290 Степень сжатия N 2 1х108 H 2 4,5х103 Предельное остаточное давление Фланец CF Па Фланец ISO-B Па Рекомендуемый форвакуумный насос л/мин. >160 м3/ч >10 Время выхода в рабочий режим мин. 2,0-3,0 Масса Фланец CF кг 17,0 Фланец ISO-B кг 17,0 ETC011M В, ~ ток 200-240 (±10%) Гц 50/60 1 ВА 1200 Гц 680/560/520 кг 9 Кабель питания (5, 10, 15, 25 м), эл. соединитель для дистанционного мониторинга EMT390M