турбомолекулярные насосы серии EBT Модели EBT70F и EBT70F-20 Естественное воздушное охлаждение Воздушное охлаждение Электропитание/ управление Эл. соединитель Эл. соединитель Электропитание/ управление Контроллер Контроллер Вентиляционное отверстие Вентиляционное отверстие для продувочного газа Вход для продувочного газа Вход для продувочного газа Вход для продувочного газа Размеры в мм Быстрота действия по азоту (воздуху) Быстрота действия по водороду Быстрота действия (л/с) Быстрота действия (л/с) Давление (Па) Давление (Па) Технические характеристики Контроллеры Стандартный комплект поставки: насос, контроллер. Дополнительные принадлежности:
вентилятор для воздушного охлаждения, контроллер для монтажа в стойку, кабель для электродвигателя (EBT70F-20), комплект клапанов для продувки, входной фитинг для подачи продувоч- ного газа в комплекте, прецизионный игольчатый клапан, фланцы и фитинги. Тел./факс: +7 (495) 660-88-97 | тел.: +7 (495) 722-12-90, +7 (495) 543-60-25 | e-mail: info@msht.ru | web: www.msht.ru 4 Вход Модель EB T70 / EBT70F-20 Быстрота действия (л/с) N 2 70 H 2 45 Степень сжатия N 2 1х108 H 2 1х105 Предельное остаточное давление Фланец CF Фланец ISO-К Па Па Рекомендуемый форвакуумный насос л/мин. >25 м3/ч >1,5 Время выхода в рабочий режим мин.
2,0-2,5 Тип охлаждения (вентиля Воздушное тор или естественное) Масса Фланец CF Фланец ISO-К кг 5,0 кг 3,0 Модель ETC75 ETC76 Тип встроенный для монтажа в стойку Входное напряжение 24 В пост. ток 100-230 В перем. ток, (±10%) Частота тока питающей сети Гц 50/60 ±2 % Число фаз питающей сети – 1 Потребляемая мощность 120 Вт 160 ВА Масса кг – 2,4 Модель насоса EBT70F EBT70F-20